单词 optical wafer stepper
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释义
步进式晶片曝光机
时间: 2026-10-15 07:31:02
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1·It utilizes optical phase shifting mask to improve resolution limit for an existing wafer stepper.
它应用了光学相移掩模方法,大大提高了现有光学光刻设备的分辨率水平。